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碳化硅外延生长设备

公开号

CN223496708U

标题

碳化硅外延生长设备

公开日

2025-10-31

申请日

2024-12-16

授权日

2025-10-31

当前权利人

海南大学三亚研究院

专利类型

实用新型

权利状态

有效

有效高价值发明专利

否

涉海领域

否

涉农领域

否

受理局

中国

友情链接

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